陳（chén）星弼（1931—2019），中國科學院院士、教授、博導，1952年畢業於同濟大學電機（jī）係，畢業後在廈門大學電機係、南京（jīng）工學院（現（xiàn）東南大學）無線（xiàn）電係擔任助教。1956年到成（chéng）都電訊工程學（xué）院（現電（diàn）子科（kē）技大學）任教。1983年任成都電訊工程學院微電子科（kē）學與（yǔ）工程係係主任、微電子研究所所長。他是我國第一批學習及從事半（bàn）導體研究的科技人（rén）員之一，電子工業部“半導（dǎo）體器件與微電子學”專業（yè）第一（yī）個（gè）博士生導師，國際著名半（bàn）導體器件物理學家、微電子（zǐ）學家（jiā），國際半導體界著名的超結結構（Super Junction）的發明（míng）人，也是國際上功率器件的結（jié）終端理論的（de）集大成者。他從1981年起開始對功率半導體器件進行研究，第一個提出了各種終端技（jì）術的物理解釋（shì）及解析理論。他提出了兩類（lèi）縱向導（dǎo）電的器件新耐壓結構，並作了唯一的三維電場分析結果，被（bèi）國際學術界譽為功（gōng）率（lǜ）器件的新裏程碑（bēi）。他發表200餘篇學術論文，獲得授權中美等國發明專利40餘項，其中著名的超結發明（míng）專利US5216275被國際（jì）專利他引超過550次，並授權給國際（jì）主流半導體公司。因對高壓（yā）功率MOSFET理論與設計的卓越貢獻，他於2015年5月獲得IEEE ISPSD（國際功率半導體器件與集（jí）成電（diàn）路年會）頒發的（de）最高（gāo）榮譽“國際功率半導體先驅獎”，成為亞太地區首位獲此（cǐ）殊榮的科學家。2018年5月，因發明超結器件成為國內首位入選IEEE ISPSD首屆全球32位名人堂的科學家。

半導體功率器件，是電（diàn）能/功率處理的核心器件，更是弱電（diàn）控製與強電運行（háng）之間的溝通（tōng）橋梁，在“中國製造”向“中國智造”轉型過程中，在民族電子信（xìn）息產業發（fā）展中（zhōng）發揮著重要作用。陳星弼院士為此付出了（le）數十年的心血與智慧，直到生命最後一刻，仍念茲在茲。

2019年12月（yuè）4日，這位被稱作中國半導體功率器件領路人的科（kē）學家在成都（dōu）去世，享年89歲（suì）。那條他常去實驗室（shì）的路上，鋪滿（mǎn）了金黃的銀（yín）杏葉，仿佛在懷念這位中國學人輝煌（huáng）的科研人生，也似乎還在傾聽他對我國功率器件取得進一步突破的夢想。

“我想陳先生心（xīn）裏想的是，還要（yào）再活十年、二十年，還要再為國家和（hé）社會作出（chū）新的貢獻。所以陳先生是（shì）有言（yán）而未語，自己（jǐ）在（zài）堅（jiān）持，希望能夠對（duì）抗（kàng）病魔。”陳星（xīng）弼的學生、原四川省電子廳廳（tīng）長蔣臣琦在看望病中的恩（ēn）師時這樣說。

美國3D公司授（shòu）予陳星弼的獎牌。

是啊！陳星弼那樣熱愛生命，熱（rè）愛科學。2019年10月，他還和學院的年（nián）輕人一（yī）起秋遊都江堰；生病的前一天依然在實驗室（shì）裏工作；即使（shǐ）在病床上（shàng），他也不閑著，琢磨如何改進輸液即將完畢時通知護士的方式（shì）。陳星弼的兒子感慨：“真的沒有想到啊……他還有好多事情想做，好多研究可以做，有很多新的idea（想法），這（zhè）是他最大的遺憾。”

可是，這位老（lǎo）者沒有更多的時光了。2019年11月20日，陳星弼戴著無創呼吸機，在白細胞（bāo）22000的（de）情況下寫下了這樣一段話：“一生輾轉千萬裏（lǐ），莫問成敗重幾許，得之坦然，失之淡然。與其在（zài）別人的輝煌裏仰（yǎng）望，不如（rú）親手（shǒu）點亮自己的心燈，揚帆遠航……”這是他最後的心語。

十幾天後，陳星弼在他（tā）最（zuì）愛的《命運》交響曲中（zhōng）離開了（le）這個世界（jiè），帶著未酬（chóu）的淩雲壯（zhuàng）誌（zhì），帶著對祖國的無（wú）限熱愛。

陳（chén）星弼（右）和胡思福在進行光（guāng）刻分析。

闖出新路（lù）

陳星弼與（yǔ）功率器件的緣（yuán）分要追溯到（dào）20世紀80年代。那（nà）時（shí），他作為“文革”後第一批出國留學人員赴美國俄亥俄大學、加州大學伯克利（lì）分（fèn）校做訪問（wèn）學者。

一個極具科研價值的問（wèn）題（tí）吸（xī）引了陳星弼：以毫米為單位的小（xiǎo）小芯片從晶圓片上（shàng）劃分而來，製作成各種產品，但是每個芯片都有邊界，它對功率器件的性能影響如何解決呢？

憑借紮實功底和勤（qín）奮學習（xí），陳星（xīng）弼（bì）提出了一個獨特的思路：應該有一個最佳的電荷分布，能在表（biǎo）麵（miàn）以最短的距離使擊穿電壓達到盡可能高的值（zhí），即（jí）最佳表（biǎo）麵變摻雜。

“邂逅”功（gōng）率器件，擦出火花後，陳星弼並沒有順這條新路走下去。他猶豫著，要不要回到自己最喜愛（ài）的物理學研究領域？但歸國後，陳星弼強烈感受到，半導體功率器件對國家電子信息領域發展的（de）重要，於是，他放棄原來的理想，全力投入這一領域的研（yán）究之中。

萬丈高樓平地起，麵向全（quán）新領域，陳星弼開始一磚一瓦搭建基礎平台。1983年，他推動建立微電子研究所，帶（dài）領大家忘我地投入科（kē）研（yán）工作。每天晚上鍾聲敲過十二下，學校要關門了，陳星弼才肯離（lí）開實驗室，一路疾走，回到家（jiā）中繼（jì）續幹。有時工（gōng）作到淩（líng）晨兩三點，有時通宵達旦，直到東方發白，才短暫休息幾（jǐ）個小時（shí）。

此時（shí）的（de）陳星（xīng）弼已年過五旬，卻以比年輕人（rén）更勤勉的態度、更旺盛的精力投入這一全新的事（shì）業裏。於是，一條新（xīn）路，在陳星弼堅實的步伐中，延伸向希望的遠方。

陳星弼的幾篇論文《P-N結有場板時表麵電場分布的簡單公式》《突變平麵結表麵電場的近似公式》等相繼發表，“功率半導（dǎo）體器（qì）件及高壓集成電路”這個嶄新（xīn）而陌（mò）生的（de）詞組從此與他（tā）緊緊聯係在一起。1987年，微電子研究所課題達到10個，經費將近30萬元。這在當時是一筆不小的數目。

“尤其值（zhí）得高興的是，‘半導體器件與微電子學’高分通過了博士點申請。”1989年11月（yuè），時任電子科技大學校長（zhǎng）的劉盛綱院士，在一次（cì）校內會議上通報了學校參加全國第四批學科點評審的情況。陳星弼舒心地笑（xiào）了，在同事熱情的掌聲中，他激動地用力皺緊眉（méi）頭，眯起眼睛，不讓淚水流出。

勇攀高峰

“集成電路為電子（zǐ）信息時代奠定了基礎，就（jiù）像造房子一樣。網絡（luò）、雲等都是重要的，但基石是微電子。”陳（chén）星弼在接受記者采訪時這樣介紹（shào）自己的研究，“關於電子信息的發展，有兩個重（chóng）要的問題：一個是如何發現新的發電方法，比如（rú）太陽能電池；另一個是如何節省電能，我們所做的工作就是節省電能。”

陳星弼以微電子研究所為（wéi）“根據地”，帶（dài）領（lǐng）一批優秀的科研工作者在半導體功率器件領域不斷奮鬥，在中國首次研製（zhì）了VDMOST、IGBT、LDMOST、MCT、EST等器件，並首次提出了各種終端技術的物理解釋及解（jiě）析理（lǐ）論。他想，人（rén）們希望功率器件耐壓很高，接通時電阻很小，但它卻有矽極限。如何實現突破呢？

陳星弼研究了（le）很多終端技術理論，逐漸形成了表麵耐壓層結構的想法。他不分白天黑夜，泡在實驗室裏，甚至自己出錢租（zū）設備，助手唐茂成和葉（yè）星寧協助他到沈陽電子部47所投（tóu）片。經過多次試驗，陳星弼和他的研究小組終（zhōng）於通過改變功率管的結構，實現了複合緩（huǎn）衝（chōng）耐壓結構（現稱為超（chāo）結器件）。

超結器件導通電阻低，易驅動，速（sù）度快，引起學術界和企業界很大反響，被稱作“功率器件的新裏程碑”。

這一發明的相關專利在全世界範圍（wéi）內已被引用超過550次，所產生（shēng）的經濟效益非常明顯（xiǎn），英飛淩、意法半導體、仙童（tóng）、東芝等公司都投入生產。根據法國半（bàn）導體領域的一家市場調查公（gōng）司的（de）調查結果顯示（shì），超結功率器（qì）件將（jiāng）以10.3%的年複合增長率迅速增長。而超結MOS器件的應用也非常廣泛，包括電腦電源（yuán）、照明電源、液晶電視、光伏逆變器，以及醫療、電信、工業等多類電源都有它的“身影”。

為此，國內外專家對陳星弼（bì）及其發明都（dōu）給予了高度評價——

美國德克薩斯大學電子工程（chéng）係終身正教授周電說：“陳院士的發明（míng）是中國（guó）人民的智（zhì）慧瑰（guī）寶，也是全世界人民的共同智慧財產。”“該專利發明標誌著半導體功率器件（jiàn）發展進入了一個叫作‘超級結’功率器件的新時代。”

加拿大科學（xué）院院士、前院長（zhǎng）、中國科學院外籍院士Jamal教授說（shuō）：“事（shì）實上，在功率器件領域（yù），他（tā）（陳星弼）曾（céng）通（tōng）過出色的研（yán）究工作單（dān）槍匹馬讓中國的研究進入國際學術舞台。與我們現（xiàn）在的科研條（tiáo）件（jiàn）相比，他是在資源極其有限的（de）情況下實現這一巨大成就的。”

然而，陳星弼（bì）對超結器件仍不滿意，耿耿（gěng）於懷的是它的缺陷。2000年（nián）後（hòu），他又發明了高K電介質（zhì）耐壓結構、高（gāo）速IGBT、兩種多數載（zǎi）流子導電的器件等（děng），這使（shǐ）我國高壓（功率）集（jí）成電路在一個新的、更先進的起點上起飛。

科研人生（shēng）

2015年，陳星弼榮獲國際功率半導體先驅獎，他談到了自己對科（kē）研的熱愛：“和我同齡的很多人都已（yǐ）經過上了清（qīng）閑（xián）的退（tuì）休生活，但我（wǒ）卻很享受（shòu）奮戰在第一線的狀態。我覺得吃（chī）喝玩（wán）樂才沒意思呢，在科學的路上，遇到困難、解決困難就是一種幸福。”

陳星弼是從20世紀50年代開始走上了這條“幸福”之路的。那時，他剛從同濟大學畢業（yè），在南京工學（xué）院電機係任助教，又北（běi）上中科院（yuàn）進修。他被漂移晶體管吸引住了。這在當時是新興事物，正逐漸替代飽和晶體管。

陳星弼利用假期進行推導，不久，他的第（dì）一篇論文《關於半（bàn）導體漂移（yí）三極管在飽（bǎo）和區工（gōng）作時的儲存時間問題》發表於1959年的《物理學報》之上（shàng），這是（shì）國際上首次指出集電區中少數載流子存儲效應對開關性能影響的重要（yào）文章。

結束（shù）在中科院的進修後，陳星弼來到巴蜀（shǔ）大地。此時，按照周恩來總理的親自部（bù）署，交通大學（現上海交通大學、西安交（jiāo）通大學）、南京工學院（yuàn）（現東南大學）、華南工學院（現華南理工大學）的電訊工程有關專業西遷成都，合並創建成都電訊工程學院（現（xiàn）電子科技大學（xué），簡稱成電）。陳星弼把對祖國的深情和對科（kē）研的熱愛都融（róng）入這所新學校的建設之中，開始了自己六（liù）十餘年的（de）成電生涯（yá）。

在陳星弼的建議和努（nǔ）力下，成電於20世紀70年代接到了研製矽靶攝像管（guǎn）的科研任務。矽靶靶麵研（yán）製小組成（chéng）立後，陳星弼做了理論論證，提出工藝和（hé）測量方麵進行攻關的三大難題。全組人員經過四個月（yuè）的艱苦奮戰，在733廠和（hé）970廠的配合下，終於研製出（chū）我國第（dì）一支（zhī）矽靶攝（shè）像管。

即使在那樣的特（tè）殊年代，陳星弼也克服一切（qiē）困難，醉心（xīn）科研（yán）。在（zài）測量半導體的電阻率時（shí），他（tā）發現（xiàn）了一個問題。平時，最常用的方法（fǎ）是（shì）“四探針法”，通常所用的理論（lùn）計算方式必須假設均勻材（cái）料。陳星（xīng）弼卻（què）發現實際情況（kuàng）和假設有差（chà）別。這一問題激發了他強烈的研究欲望。他利用業餘時間研究電阻率，最後利用傳統的電（diàn）荷鏡像法，頗具匠心地創造了一種在一維方向介質是不均勻（yún）的鏡像電荷的（de）方程。

從漂移晶體管到矽靶（bǎ）攝像管，再到後來創造輝煌（huáng）的半導體功（gōng）率器件，陳星弼一（yī）直葆有對科研的無限熱愛和克服科學困（kùn）難的壯誌雄心。他說：“科研之初，就像貝多芬《命運》交響曲的第一樂章，我們掙紮、追（zhuī）尋、研究和爭（zhēng）辯，內心有苦也有樂。然（rán）而通過不懈的努力，終於征服（fú）了種種障礙，並且在某項研究中取得了成功，這（zhè）又像《命運》交響曲的第四樂章。”

立德樹（shù）人

“嚴字（zì）當頭，把學生當‘敵人’。”這是陳星弼數十載的教學感（gǎn）悟。他認為，講授真學問的關鍵在“嚴”，把學生當作“敵人”，以（yǐ）難題驅（qū）動，進而提（tí）升他們思考解決問題的能力（lì）。

陳星弼經常（cháng）舉一個例子，前中國女子曲棍球教練金昶伯，對待自（zì）己的隊員就像（xiàng）“敵人”一樣，通過魔鬼訓練讓她們磨礪進步。“嚴師出高徒”，正是在（zài）其率領下，中國（guó）女子曲棍球隊在不到（dào）3年時間裏，一躍成為一（yī）支世（shì）界強隊。

如何做到嚴格要求呢？陳星弼的方法是自主設計難題，讓學生在攻克難題中鍛煉（liàn）能力，並能不斷創新。他（tā）還通過在考試題目中設置難題，辨識學生學（xué）習成果（guǒ）差異（yì），讓分數（shù）“高斯”分布（bù）。

同時，陳星（xīng）弼也（yě）非常重視“寬嚴相濟”。而他認（rèn）為的“寬”，則是（shì）指老師要引（yǐn）導（dǎo）學生加強基礎課和通識教育的學習，打下寬厚基礎，奠定未來研究工作的基石。“現今科技日新月異（yì），專業知識也會隨之更新。我們學雙極型晶（jīng）體管時，未承想過幾年（nián）便（biàn）出現MOS晶體管。當我們學習（xí）MOS晶體管時，很快又有了集成電路。那我們要（yào）靠什麽（me）快速（sù）跟進學（xué）習與認知？靠（kào）的就是我們曾經（jīng）不惜時間和精力打下的數（shù）理基礎。”

著眼於（yú）中國高等教育發展，陳星弼常常呼籲，大學教（jiāo）育培養的不隻是高級技師，而應以輸出對科技發展有貢（gòng）獻的（de）科學家為主，因此（cǐ）要站在對學生及中國高等教育高度負責的立場，加強基（jī）礎課的投入，提升基（jī）礎（chǔ）課（kè）的教學水平。“不要（yào）怕學（xué）生缺少某些知識，不要妄（wàng）想知識都要從學校得來，要讓學生意識（shí）到，可持續學習能力的自（zì）我培養是珍貴品質。”

雖已過去數十年，原成都電訊工程學院三係係主任謝孟（mèng）賢回憶陳星弼上課的情景，仍曆曆（lì）在目：“陳老（lǎo）師自己在上講台前總是將教（jiāo）案熟悉到極致（zhì），所有（yǒu）理論體（tǐ）係、知識（shí）案（àn）例都在他的腦海裏形成一個嚴密的體係。走上講台，不用背，不用（yòng）記，要講的內容（róng）像水流一（yī）樣涓涓不息地淌（tǎng）出來。從1959年（nián）開始上課，他就不帶講（jiǎng）稿，隻（zhī）有一張（zhāng）香煙盒大小的紙片寫（xiě）好備忘摘錄。他的課有趣生動（dòng），難點重點突出，分析透徹。”

不管工作多麽（me）繁忙，陳星弼都把教學工（gōng）作放在非（fēi）常重要的位置。他曾主動請（qǐng）纓，接手“人人討厭上”的量子（zǐ）力學，還為（wéi）研究生開設了《半導體器件物理》《半導（dǎo）體器件（jiàn）的數值計算方法（fǎ）》《功率MOS》等新課。

課程很難，陳星弼卻很興奮。他一向認（rèn）為，“越偉大越深奧的東西我（wǒ）越喜歡（huān）攻克”。陳星弼的課保持著一貫風（fēng）格：突出物理概念，啟發式教育。他（tā）將豐富的科（kē）研體（tǐ）驗融匯在課堂內容中，學生感覺實用性更強。

為了鍛煉學（xué）生的英語（yǔ）能力，陳星弼在研究生課堂上采用全英文教學。他崇尚自由包容的課堂氛圍，允許學生隨意提問。討論時，沒有權威，沒有師生關係，隻有平等交流。同學們踴（yǒng）躍發言，甚至為某一個問題爭得麵紅耳赤。

陳（chén）星弼還經常（cháng）給學生們開人文講（jiǎng）座，建議他們讀（dú）世界名著（zhe）、聽古典音（yīn）樂，鍛煉他們的語言（yán）表達能力。他認為，通識教育雖不能讓人才速成，但從長遠計，接受通識教育的學生的創新性和貢獻更為突出（chū）。

即使已入耄耋之年，身患各種疾病，陳星弼還（hái）是親自（zì）帶碩士生、博士生，關心每一位學（xué）生的成長和發展（zhǎn）。

陳星弼是嚴師，更是慈父。他掏錢請學生看電影、吃飯，在（zài）甲型流感暴發期間自費購買（mǎi）中藥熬給同學們喝。

更有意思的是，“讓我付錢我才去”成（chéng）為陳星（xīng）弼（bì）和畢業學生聚會的“標準”。學生們都記得，有一次聚會大家偷偷付了錢，陳先生很不開心，批評“說話不算數（shù）”。下次再約（yuē）時，陳星（xīng）弼（bì）說“除非（fēi）我把上次聚（jù）會時的錢出了，否則我不去。”“在他心裏，我們就是他的孩子啊。”

2018年教師節前夕，陳星弼與劉盛綱、李樂民三位院士共同獲得“成電立德樹人（rén）成就獎”，這是屬於電（diàn）子科（kē）技大學教師的（de）最高榮譽。

家國情懷

“隻有科學（xué）和教育發展了，國（guó）家才能振興。沒有（yǒu）科（kē）學教育，國家就會（huì）落後（hòu），落後（hòu）就要挨（āi）打。”在紀念二戰（zhàn）勝利70周年時，陳星弼曾談到科（kē）教興國的意義，“科學技術是第一生產力，科學技術無形中推動生產（chǎn）力的發展，任何人不能阻止曆史的車輪。”

這樣的感悟與陳星弼刻骨銘心（xīn）的少年（nián）經曆密切相關。國破山河在，城春草木（mù）深。1937年，戰爭陰雲密布，不到7歲的陳星（xīng）弼（bì）跟隨父母離開上海，在連天的炮火中，踏上向西的逃（táo）難之路。

他們（men）逃到了（le）餘姚、浦江，又輾（niǎn）轉至蕭山、金（jīn）華、南昌、長沙、九江……曆經艱險到達重慶（qìng），一家（jiā）人才稍作安頓（dùn）。陳星弼轉學四次後結束了小學生活。

陳星弼的少年時代拮據清貧，中學每月隻發給他們（men）二鬥三升米，大部分都是（shì）黴爛的紅米。而（ér）每次回家，他都要為船（chuán）費發愁。

1943年，陳星弼轉學到（dào）江津縣國立九中，“十（shí）萬青（qīng）年（nián）十萬軍”的大規模征兵運動（dòng）正在全國開（kāi）展。他唱著《棠棣之花》送別披上（shàng）戎裝的同學，隻恨自己年（nián）齡小不能參軍，要（yào）麽真想爬上卡車，到印度，到緬甸，到抗日前線。

年少的陳星弼在緊張的課餘認真軍訓（xùn），操練，打（dǎ）靶，一絲不苟。語文老師教大家毛澤東的詞《沁園春·雪》，他非常喜（xǐ）愛。陳星弼和同學還排演曹禺、田漢、夏衍、郭沫若的愛國話劇。

年歲漸增，陳星弼對（duì）祖國的愛更深，為祖國奉獻一生的意願更加（jiā）強烈。大二時（shí），陳星弼放棄了獎學（xué）金。他（tā）想，國（guó）家還有許多急需用錢的地方，“我也（yě）要為祖國盡微薄之力（lì）。”畢業分（fèn）配（pèi）填寫誌願表時，他鄭重地在每一個誌願欄裏都（dōu）填上“服從組織分配”，並真誠地表示要“到東北去、到西北去、到最艱苦的地方去”，建（jiàn）功立業。

五（wǔ）十歲時，陳星弼走出國門，以真才實學贏得了國際友人的尊重。他主動上交外匯，卻把收據滿不在乎（hū）地丟棄。為了（le）給工業發展作（zuò）出切切實實的貢獻，他痛苦地放棄了關於理論物理的夢想。在功率器件領域艱苦工作，常常通宵達（dá）旦。

陳星弼視名利如浮雲，他衣著樸（pǔ）素，家裏甚至還用著20多年前的暖水瓶（píng）。不了解（jiě）的人很難想象，這位看似普通的老人，專利成果帶來的經濟效益約20億美（měi）元。“如果（guǒ）隻是為了（le）名利，我（wǒ）不可能在科研上耗費一輩子的精力。”陳星弼說。

從大學時代開始，陳星弼就閱（yuè）讀馬克思曆史唯物（wù）主義著（zhe）作，而且順著哲（zhé）學學術河流（liú）上溯，閱（yuè）讀了德國古典哲學著作。“我是經（jīng）過（guò）了（le）艱（jiān）苦的閱讀、認真的思索，才開始接受馬克思主義。”

終其一生，馬克（kè）思主義給予陳星弼（bì）源源（yuán）不斷的（de）精神力量。他引（yǐn）用馬克思（sī）的名言——“科學絕不是一種自私自利的享樂。有幸能夠致力於科學（xué）的人，首先應該（gāi）拿自己的學識為人類服務”，認為“能夠在短促的人生中，以（yǐ）科學服務人（rén）類，這就是我追求的價值”。他也希望有（yǒu）更多的青年獻身科研，成為科研發展的脊梁。

“長（zhǎng）壽，是讓我有充足的時間為祖國做更（gèng）多的事情。”陳星弼並不在乎生命長短與否，但耄耋之年仍緊張工作在科研戰線最前沿，他深（shēn）感幸運。經（jīng）曆過山河破碎，對國弱（ruò）民賤、生靈塗炭的印象錐心刺骨，陳星弼始終（zhōng）葆有這（zhè）樣的“初（chū）心”：要把自身的前途命運同國家和民族的（de）前途命運緊緊聯（lián）係在一起，在祖國需要的科研戰線上建功立業。他（tā）“心有（yǒu）大我、至誠報（bào）國”，也（yě）激勵著廣大科研工作者開拓創新，解決（jué）關鍵技術“卡脖子”問題（tí），將科（kē）研人生融入實現（xiàn）中華民族偉（wěi）大複興中國夢的曆史洪流中。

（本版圖片均為資料（liào）圖片）

《光明日報》（ 2020年03月02日 11版）